“霓虹的厂商,确实很厉害,特别是尼康,算是吃了时代红利,最厉害的就是他们的自主研发生产能力了,可以说他们的光刻机,光源之外的其余零部件都是自产的。”
“这就形成了尼康光刻机集成化的系统结构,优势也非常明显,他们的造价最低廉、结构最紧凑、运行最经济、效率最高。”
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